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15720490226电子芯片废气治理方案案例
电子厂废气包括二氧化硫,三甲胺,NOx,氮氢化合物,苯二甲酸二辛酯等。 而产生这些废气的主要是产生于芯片或线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影等过程中。
电子制造业排放VOCs废气中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。
对电子行业废气处理系统的设计选型,严格按照或地方的大气污染物治理达标排放标准,以及企业废气参数(废气成分、浓度和风量数据等)设计废气处理方案。
针对电子行业VOCs排放特点采用相应末端治理技术,主要还是活性炭吸附法。吸附法利用多孔性固体吸附剂处理混合气体,吸附剂选择性高,活性炭属非极性吸附剂,对非极性化合物有较强的吸附能力,一般可净化低浓度VOCs,净化效率可达到90%.
电子厂废气治理工艺:
活性炭吸附浓缩催化燃烧:
通过80℃的热空气对吸附在活性炭表面的高浓度的有机废气进行高温脱附,把脱附出来的高浓度的有机废气送达催化燃烧氧化炉进行285℃-400℃之间的高温氧化形成二氧化碳和水达标排放。
为什么选用该废气处理设备?
催化燃烧设备净化效率95%以上,适用于大风量,低浓度有机废气。加热温度280度,活性炭可重复利用,投入成本低,耗能低。
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