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低温等离子体状态信息获取的几种基本的诊断方法

发布日期:2013-06-20浏览次数:14900

  所谓低温等离子体的状态就是在等离子体中原子、 分子、电子、离子的状态。而这些状态是通过不同的等离子体诊断方法而得到的,这些状态是与不同类型的等离子体装置,放电条件,气压条件等有关。而等离子体是低温等离子净化器中的主要配件,了解低温等离子体状态就成为必要的工序,我公司对于获取低温等离子体的诊断方法如下:
  1.光谱诊断。光谱诊断主要是发射光谱。发射光谱法通过对等离体本身所发出的光进行分光分析,来测定等离子体中存在的分子、原子的激发和电状态。根据测得的发光强度可确定活性粒子的浓度并计算出电子温度等。发射光谱需要分子获得较高的能量。
  2.质谱法。质谱法可对等离子体的组成粒子,特别是离了进行直接的测定。一般是在线测量,即通过差动排气法将等防体的组成粒子,特别是离子进行直接的测定,以鉴定等离子体中的粒子种类。如果再与能量分析仪组合,则可测量这些粒 子的能量。
  3.静电探针。这种方法是由Longmuir发明的探测等离子体特性的一种方法。由于简单且用途多,一直沿用至今。对直流辉光放电,等离子体的电位有确定值,可用单探针法,对高频放电,微波放电等,则用单探针结合补偿探针或双探针法。通过测量探针特性,即测量液入探针的电流和加到探针上的偏压之间的关系,来推算同等离子体中的电子温度,离子密度及等离体电势。
  4.其它。一些新的方法如电子顺磁共振(EPR),激光诱导荧光法(LIF),来测等离子体中原子、分子的电子态,微波干涉测量电子密度等。
通常要采用多种方法来互相验证,才能确定等离子体状态。
  低温等离子体的状态不同所采用的废气净化方法就不同,效果也自然不同,z6尊龙凯时·(中国)官方网站司专业针对废气处理设备中采用等离子体的工程进行研究,小具成效,相关有机废气处理工程可联系z6尊龙凯时。1572049,0226

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